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晶體鑄錠爐(真空/壓力)
晶體鑄錠爐(真空/壓力)
產(chǎn)品描述:
晶體鑄錠爐(真空/壓力)主要用于晶體材料的鑄錠工藝。
應(yīng)用范圍:
石英晶體、硅晶體及其他晶體

晶體鑄錠爐(真空/壓力)技術(shù)特征

采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置,爐溫均勻性好;

設(shè)置上下控溫,實(shí)現(xiàn)工藝溫度精密控制;

采用動(dòng)密封技術(shù),能精密控制坩堝移動(dòng);

采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制爐內(nèi)壓力,爐膛內(nèi)壓力波動(dòng)??;

設(shè)備采用多級(jí)安全保護(hù);

鎖圈采用液壓驅(qū)動(dòng),并配有機(jī)械限位,安全可靠;

爐門的開啟采用液壓手動(dòng)或自動(dòng)開啟,操作簡單;

具有超溫超壓等故障報(bào)警,機(jī)械式自動(dòng)壓力保護(hù),動(dòng)作互鎖等功能,設(shè)備安全性高。

晶體鑄錠爐(真空/壓力)產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)/參數(shù)VIC-1252VIC-1807VIC-2007
工作區(qū)尺寸D×H(mm)φ1200×520φ1800×700φ2000×700
最高溫度(℃)1500-20001500-20001500-2000
溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
極限真空度(Pa)1-1001-1001-100
最高壓力(MPa)2-62-62-6
壓升率(pa/h)0.670.670.67
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

晶體鑄錠爐(真空/壓力)配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全碳鋼/全不銹鋼/壓力容器鋼材

保溫材質(zhì):碳纖維保溫材料/陶瓷保溫材料

加熱器:等靜壓石墨/金屬

熱電偶:C分度號(hào)(鎢套管/鉬套管/陶瓷套管)

紅外儀:單比色/雙比色

適于工藝氣氛:N2/Ar。

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